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J-GLOBAL ID：201002271022566225   整理番号：10A1070863

半導体式ガスセンサに用いられるSnO₂系センシング材料中のドーパントの役割(1)-性能と信頼性に及ぼす影響と大型先端機器による解析の試み

THE ROLE OF DOPANTS IN SnO₂-BASED SEMICONDUCTOR GAS SENSING MATERIALS (1)-EFFECTS OF DOPANTS ON SENSING PERFORMANCES AND RELIABILITY OF SENSORS

著者 (5件)： 前川亨 (新コスモス電機) ,  皆越知世 (新コスモス電機) ,  神田奎千 (新コスモス電機) ,  野村勝裕 (産業技術総合研) ,  蔭山博之 (産業技術総合研)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 26  号： Supplement B  ページ： 106-108  発行年： 2010年09月02日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本発表では,代表的な添加物であるCeとSbのSnO₂中での挙動とガス検出特性との関係を,大型先端機器などの新規分析手法を用いて得られた実験結果を踏まえて報告した。Ceが共存している場合は,添加量にかかわらず5価に近いことがわかった。この結果は,SnO₂中のCeとSbの添加量,および,比率により添加物の化学的状態が異なり,センサの素子抵抗値やガス感度に影響を与えていることを示唆した。以上の実験結果より,高い信頼性を持つCe-Sb-SnO₂系材料によるガスセンサの開発に際して,SnO₂へのCeとSbの添加を検討する場合,その組成はもちろん,SnO₂中での化学的状態も極めて重要な因子であることが明らかになった。

シソーラス用語： *半導体 ,  *ガスセンサ ,  *酸化スズ ,  *検出 ,  *ドーパント ,  *性能 ,  *信頼性 ,  解析 ,  添加剤 ,  大型 ,  セリウム ,  アンチモン ,  比率 ,  感度 ,  可燃性ガス ,  結晶成長 ,  水素 ,  結晶構造 ,  化合物半導体 ,  酸化物半導体
準シソーラス用語： センシング ,  添加物

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  化学プロセスの測定,監視,計装  (XC02030Y) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

引用文献 (10件)：

• T. Maekawa, C. Minagoshi and S. Nakamura, Chemical Sensors 23-A, 97(2007).
• T. Maekawa, C. Minagoshi, S. Nakamura, K. Nomura and H. Kageyama, Chemical Sensors, 24-A, 19(2008).
• 皆越知世, 前川 亨, 鈴木健吾, 野村勝裕, 蔭山博之, マテリアルsインテグレーション, 第21巻 第05, 06号, 37(2008).
• 平成18年度ナノテク総合支援プロジェクト (文部科学省), 新コスモス電機, 平成18年度
• 平成20年重点産業利用課題 (S Pring-8), 2008B1921, 新コスモス電機

タイトルに関連する用語 (8件)： ガスセンサ ,  SnO2 ,  センシング ,  ドーパント ,  役割 ,  大型 ,  解析 ,  試み