抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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排ガス処理,滅菌,オゾン生成,液体処理などに用いられる非平衡プラズマや活性種を発生させるための,パルス大気圧放電装置の電源であるパルス高電圧発生器を開発した。急峻な遮断能力と高い耐電圧を持つ半導体開放スイッチ(SOS)を用いた簡単な回路を構成し,その動作試験を行い,その結果について考察した。回路をできるだけ簡略化し,1個の磁性体コアでパルストランスと磁気スイッチを兼ねるように設計し,SOSデバイスの制御回路を構成した。この回路構成により,初段充電電圧1.6kV,充電エネルギー0.14Jで500Ωの抵抗負荷に対して,ピーク値約27kV,時間幅やく30nsの出力電圧パルスを最高繰り返し率1kHzで発生した。