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J-GLOBAL ID：201002273138473553   整理番号：10A0814791

環境モニタリングのためのコンパクトなセンサ

Compact Sensor for Environmental Monitoring

著者 (1件)： TAKASU Ryozo (Fujitsu Lab. Ltd.)
資料名： Fujitsu Scientific & Technical Journal  (Fujitsu Scientific & Technical Journal)
巻： 46  号： 3  ページ： 280-284  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： S0076A  ISSN： 0016-2523  CODEN： FUSTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： このレポートは,大気中のガス状物質の痕跡量を検出する簡単な方法を説明する。半導体LSIの製作工程では,大気中の気相汚染物質が加工処理中のウエハーに付着すると,製造欠陥が発生する。この問題を克服するために,著者は,そのような汚染を検出するために,水晶振動子マイクロバランス(QCM)を使った汚染センサを開発し,現在適用している。このセンサを使った検出システムは,高感度であり,大気汚染物の濃度変化を追跡するのに適している。半導体LSI加工工場の汚染物質の挙動を調査して,汚染源を特定し,それらを排除することが可能になる。したがって,このセンサシステムは生産コストを下げ,製品品質を高めるのに有効である。そのうえ,このセンサはコンパクトなので,例えば,プラントの周りや,ウエハー容器の中など様々な場所に容易にインストールすることができる。コンパクトであること以外に,QCMコントローラは,使い易く,優れた携帯性を持っている:それは,単にノートパソコンなどの装置のユニバーサルシリアルバス(USB)ポートに差し込むだけでよい。これらの特徴の結果,このセンサは,半導体加工工場で使用されるだけではなく,他の種類の環境測定にも適用できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *環境モニタリング ,  *センサ ,  半導体プロセス ,  *大気汚染物質 ,  小型化
準シソーラス用語： *QCMセンサ

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  大気質調査測定一般  (SB03040I)

引用文献 (3件)：

• International Technology Roadmap for Semiconductors, 2007 Edition, Yield Enhancement. http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/2007_Chapters/2007_Yield.pdf
• G. Sauerbrey: Verwendung von Schwingquarzen zur Wägung tünner Schichten and zur Mikrowägung.(in German), Zeitshrift für Physik, Vol.155, Issue 2, pp. 206-222(1959).
• Press release: Takane Electronics license technology for Fujitsu’s atmospheric-analysis device.(in Japanese). http://pr.fujitsu.comjp/news/2009/07/7.html

タイトルに関連する用語 (1件)： 環境モニタリング