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J-GLOBAL ID：201002273718560062   整理番号：10A0253610

高感度,高分解能低エネルギーイオン散乱

High-sensitivity and high-resolution low-energy ion scattering

著者 (10件)： BRONGERSMA Hidde H. (Calipso B.V., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  BRONGERSMA Hidde H. (ION-TOF GmbH, Heisenbergstr. 15, 48149 Muenster, DEU) ,  BRONGERSMA Hidde H. (Tascon GmbH, Heisenbergstr. 15, 48149 Muenster, DEU) ,  GREHL Thomas (ION-TOF GmbH, Heisenbergstr. 15, 48149 Muenster, DEU) ,  VAN HAL Paul A. (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  KUIJPERS Niels C.W. (Calipso B.V., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  MATHIJSSEN Simon G.J. (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  SCHOFIELD Emma R. (Johnson Matthey Technol. Centre, Blount’s Court Road, Sonning Common, Reading RG4 9NH, GBR) ,  SMITH Richard A.P. (Johnson Matthey Technol. Centre, Blount’s Court Road, Sonning Common, Reading RG4 9NH, GBR) ,  TER VEEN Hendrik R.J. (Tascon GmbH, Heisenbergstr. 15, 48149 Muenster, DEU)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 84  号： 8  ページ： 1005-1007  発行年： 2010年03月24日 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低エネルギー散乱(LEISあるいはISS)は表面の外側原子層の原子組成を選択的に解析するために使用される。さらに,スペクトルは深さの分布を(非破壊的に)与える。並列エネルギー検出と飛行時間フィルタリングをもつ二重トロイダルエネルギー分析器を使用して,LEISの高感度と質量分解能が達成される。これはγ-アルミナ上のPt/Auの高分散触媒に対して証明される。改良された深さ分解能は金上でアルカンチオールの自己組織化単一層(12-20炭素原子)に対して説明される。これらの低いZ炭素原子に対して,8ev/炭素原子の明確なシフトが観測される(1.5keV⁴He⁺イオン散乱)。これは超薄膜拡散障壁,高k誘電体およびバイオセンサの研究に対して多くの新しい可能性を開く。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *高感度 ,  *高分解能 ,  エネルギー ,  *低速イオン散乱 ,  *分解能 ,  チオール ,  *白金 ,  *金 ,  *炭素 ,  単一層
準シソーラス用語： 低エネルギー ,  低エネルギーイオン散乱 ,  質量分解能 ,  アルカンチオール

分類 (1件)： イオンとの相互作用  (BK16070Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高感度 ,  高分解能 ,  低エネルギーイオン散乱