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J-GLOBAL ID：201002274689464454   整理番号：10A0685220

チップに基づくナノ製造: 真のナノテクノロジーへの取組み

Tip-Based Nanofabrication: An Approach to True Nanotechnology

著者 (3件)： SCHOFIELD Adam R. (System Planning Corp., VA) ,  BLOSCHOCK Kristen P. (System Planning Corp., VA) ,  KENNY Thomas W. (Defense Advanced Res. Projects Agency, VA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7637  ページ： 76371D.1-76371D.6  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 管理された真のナノ製造のために,米国防高等研究計画局(DARPA)はナノテクノロジーの潜在的可能性を明らかにするための原子間力顕微鏡チップに基づくナノ製造(TBN)研究計画を開始した。本論文では,TBN研究計画の現状を紹介した。数年間の計画の後,得られる技術は提案者仕様の素子及び応用に組込まれる。まず,TBN計画の背景を述べた。次に,TBNの要件と目標を示した。提案した手法を強調し,将来の方向を論じた。

シソーラス用語： *ナノテクノロジー ,  ナノ構造 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *ナノメータ加工 ,  片持梁
準シソーラス用語： 微小片持梁

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (1件)： ナノテクノロジー