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J-GLOBAL ID：201002274797778481   整理番号：10A0823390

金属液滴の電場誘起運動: サブミクロン接触器への応用

Electric field induced motion of metallic droplets: Application to submicron contactor

著者 (6件)： DALLAPORTA H. (CINaM-CNRS, Aix Marseille Univ., Case 913, 13288 Marseille Cedex 09, FRA) ,  PRESTIGIACOMO M. (Orsay Physics, Z.A. Les Michels, Chemin Departemental 56, 13710 Fuveau, FRA) ,  BEDU F. (CINaM-CNRS, Aix Marseille Univ., Case 913, 13288 Marseille Cedex 09, FRA) ,  TONNEAU D. (CINaM-CNRS, Aix Marseille Univ., Case 913, 13288 Marseille Cedex 09, FRA) ,  CHATAIN D. (CINaM-CNRS, Aix Marseille Univ., Case 913, 13288 Marseille Cedex 09, FRA) ,  SUDRAUD P. (Orsay Physics, Z.A. Les Michels, Chemin Departemental 56, 13710 Fuveau, FRA)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 4  ページ： L35  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タングステンヘキサカルボニル前駆体から集束イオンビームにより蒸着したサブミクロンのタングステン線上のガリウム液滴の可逆的移動の監視について報告する。線の終端に電圧を印加し,線に沿って発生した内部電場により液滴を移動させる。この移動に関与するのは電気伝導であるので,サブミクロンの電気スイッチを製作できる。導電性液滴の位置を電気的に監視することで,サブミクロン間隙で分離された二個の電極間のオンオフ接触を切換えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *液滴 ,  電場効果 ,  サブミクロン加工 ,  *接触器 ,  タングステン ,  ガリウム ,  *マイクロスイッチ
準シソーラス用語： *金属液滴

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 金属液滴 ,  電場 ,  誘起 ,  運動 ,  サブ ,  接触器 ,  応用