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J-GLOBAL ID：201002275394631649   整理番号：10A0291698

低伝搬損失の光ファイバ水素ガスセンサ

A fiber-optic hydrogen gas sensor with low propagation loss

著者 (5件)： WATANABE T. (Graduate School of Engineering, Yokohama National Univ., Tokiwadai 79-5, Hodogayaku, Yokohama 240-8501, JPN) ,  OKAZAKI S. (Graduate School of Engineering, Yokohama National Univ., Tokiwadai 79-5, Hodogayaku, Yokohama 240-8501, JPN) ,  NAKAGAWA H. (Res. Center for Advanced Sci. and Technol., Univ. of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8904, JPN) ,  MURATA K. (The Inst. of Applied Energy, 1-14-2 Nishi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo 105-0003, JPN) ,  FUKUDA K. (The Inst. of Applied Energy, 1-14-2 Nishi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo 105-0003, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 145  号： 2  ページ： 781-787  発行年： 2010年03月19日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガス感知領域から成るクラッド領域を持つ光ファイバ水素ガスセンサを開発した。ガス漏れ監視目的に向けて,広い感知領域を持つセンサデバイスが強く求められている。報告センサは,センサファイバに沿った至る所で水素漏れを検出する能力を持っている。感知原理は,三酸化タングステン(WO₃)と白金(Pt)層とから成るクラッド領域でのエバネセント波相互作用の吸収に基づいている。二層薄膜を,電子ビーム蒸着法で作製した。WO₃層を石英ガラスファイバ芯に直接蒸着させた。次いで白金層を蒸着した。水素原子は半透明WO₃膜のWO₃にインターカレーションされて,青色タングステンブロンズに転換した。色変化は光ファイバ伝搬損失の増加による。Pt層は反応を刺激する触媒として機能した。感知層の適切な厚さは,理想的な作動には極めて重要である。WO₃層が厚いほど,伝搬損失の増加は犠牲となるが,より高い感度となる。伝搬損失の増加は実際的なセンサ長さを制限する。WO₃層の最適厚さは50nmに設定された。一方,Pt触媒層のそれは5nmである。このセンサデバイスの伝搬損失は以前開発のゾル-ゲル法のデバイスよりも低い。さらに,迅速な応答と良好な再現性を観測した。EB蒸着法はセンサデバイスの光学特性を効果的に制御でき,分散センサデバイス実現に向けた扱いやすく将来性のある技法である。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *水素 ,  *光ファイバセンサ ,  クラッド材 ,  蒸着膜 ,  多層膜 ,  電子ビーム蒸着 ,  伝送損失 ,  酸化タングステン ,  白金 ,  インターカレーション ,  タングステンブロンズ ,  青 ,  着色 ,  膜厚 ,  光吸収 ,  屈折率 ,  感度

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 伝搬損失 ,  光ファイバ ,  水素ガス