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J-GLOBAL ID：201002275710678750   整理番号：10A0239108

rfプラズマ重合化リナリルアセタート薄膜の光学的形態的特性におよぼすrfパワーの効果

Effect of RF power on the optical and morphological properties of RF plasma polymerised linalyl acetate thin films

著者 (2件)： ANDERSON L.j. (Electronic Materials Res. Lab, School of Engineering and Physical Sciences, James Cook Univ., Townsville QLD 4811, AUS) ,  JACOB M.v. (Electronic Materials Res. Lab, School of Engineering and Physical Sciences, James Cook Univ., Townsville QLD 4811, AUS)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 256  号： 10  ページ： 3293-3298  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rfプラズマ重合法でrfパワーを変えて(10~75W),リナリル酢酸薄膜を作成した。偏光解析と紫外-可視分光分析(200~1000nm)により膜の光学特性を評価した。Taucプロットから,rfパワーと無関係に約3eVの光学バンドギャップが得られた。原子間力顕微鏡とナノインデンテーションを利用して,試料の表面形態と硬度を調べ,rfパワーが膜特性におよぼす効果を調べた。全てのパワーレベルで,形態に対応して,平均粗さが約0.2nmの平滑な表面が観測されたが,硬度はrf堆積パワーに対して線形依存性を示し,0.29~0.44GPa域で変化した。得られた結果は,rf堆積パワーを変えると膜特性を調整できること,また,物質の化学構造に荷電キャリアを導入して,膜をカプセル封じ層,絶縁層,または半導体層として電子素子に利用できる可能性を示唆する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： プラズマ ,  *プラズマ重合 ,  *高分子薄膜 ,  偏光解析法 ,  *光学ギャップ ,  *ナノインデンテーション ,  原子間力顕微鏡 ,  *表面構造 ,  硬度 ,  *放射電力 ,  脂肪酸 ,  脂肪族アルコール ,  ジエン ,  ビニル化合物 ,  不飽和アルコール ,  カルボン酸エステル
準シソーラス用語： RFプラズマ

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (1件)： 酢酸リナリル

タイトルに関連する用語 (8件)： RFプラズマ ,  重合化 ,  リナリルアセタート ,  薄膜 ,  光学 ,  形態 ,  RF ,  パワー