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J-GLOBAL ID：201002275817265458   整理番号：10A1027169

置換リソグラフィーにおけるインキまたはバックグラウンドSAMとしての末端アルキン: 偶発的置換対指向性置換

Terminal Alkynes as an Ink or Background SAM in Replacement Lithography: Adventitious versus Directed Replacement

著者 (2件)： TUCKER Eric Z. (North Carolina State Univ., North Carolina) ,  GORMAN Christopher B. (North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 26  号： 18  ページ： 15027-15034  発行年： 2010年09月21日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： n-アルカンチオールおよび末端アルキンからなる自己組織化単分子層(SAM)を,溶液中フェロセン末端をもつチオール,チオ酢酸エステルおよび末端アルキンで処理した。化学交換の速度および量は,走査型トンネル顕微鏡(STM)によって追跡した。多くの場合には,交換の速度定数は交換モデルに対するフィッティングにより求めることができた。このような場合には,さまざまな速度論モデルがデータに適合し,交換機構はもとのSAMおよび導入される分子の双方またはいずれかに依存することが示唆された。交換速度が遅いシナリオでは,指向性置換はSTMチップ誘起リソグラフィーパターン化(置換リソグラフィー)によって達成される。交換量は導入される分子に無関係であり,チップ誘起脱離がこのプロセスにおける制限因子であることを示唆する。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *アルキン ,  *置換反応 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  反応速度定数 ,  フェロセン誘導体 ,  シクロアルケン ,  共役ジエン
準シソーラス用語： アルカンチオール ,  *自己組織化単分子層

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  置換反応  (CF02020B)

物質索引 (4件)： シクロペンタジエン ,  チオ酢酸S-[11-(2,4-シクロペンタジエニル)ウンデシル] ,  11-(2,4-シクロペンタジエニル)-1-ウンデカンチオール ,  13-(2,4-シクロペンタジエニル)-1-トリデシン

タイトルに関連する用語 (7件)： 置換 ,  リソグラフィー ,  インキ ,  バックグラウンド ,  SAM ,  末端アルキン ,  指向性