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J-GLOBAL ID：201002275844806100   整理番号：10A0556192

光学的表面追跡システムによる小型化光学粘性センサの開発

Development of Miniaturized Optical Viscosity Sensor with Optical Surface Tracking System

著者 (4件)： ABE H. (Keio Univ., Yokohama,JPN) ,  NAGAMACHI R. (Keio Univ., Yokohama,JPN) ,  TAGUCHI Y. (Keio Univ., Yokohama,JPN) ,  NAGASAKA Y. (Keio Univ., Yokohama,JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7594  ページ： 75940L.1-75940L.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学的表面追跡システムによりより少ない試料体積で非接触測定を可能にした,レーザ誘起毛細管波(LiCW)をベースにした,MOVSと命名された新しい小型光学的粘性センサを開発した。粘性は液体表面で2つの励起ビームの干渉によって生じたLiCWの元帥振動の観測から評価する。LiCWにプローブレーザビームを照射して,粘性情報を含む1次回折光の強度を用いて液面とセンサの間の距離を制御する。この新規開発の集積化光学的表面追跡システムによってMOVSは外部振動や蒸発のようなじょう乱がある場合でも焦点を試料表面に維持することができ,レーザ誘起毛細管波の減衰振動信号を1μs以内で観測可能である。このセンサにより蔗糖水溶液薄膜の乾燥過程を通しての粘性変化を首尾よく観測できた。このような測定はこれが始めてである。

シソーラス用語： 粘度計 ,  *光センサ ,  非接触測定 ,  *表面張力波 ,  *粘性 ,  レーザビーム ,  計測 ,  *MEMS ,  マイクロマシニング ,  チップ
準シソーラス用語： その場測定 ,  *レーザ誘起 ,  マイクロチップ

分類 (3件)： 粘性,粘弾性の計測法・機器  (AD05070R) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  追跡システム ,  粘性 ,  開発