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J-GLOBAL ID：201002275942890437   整理番号：10A0030885

偏光利用による3次元リアルタイム計測法の開発

著者 (2件)： 山本正樹 (東北大) ,  津留俊英 (東北大)
資料名： 検査技術  (Inspection Engineering (Tokyo))
巻： 15  号： 1  ページ： 1-9  発行年： 2010年01月01日 
JST資料番号： L3524A  ISSN： 1342-9825  CODEN： KGEIAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 生物にはミツバチの太陽方位検知のように偏光を検知できる「偏光眼」があり,人間も実は肉眼で偏光を検知する能力を備えている。本稿は著者らが提案した汎用で精密な実時間計測技術としての「3D傾斜エリプソメトリー」について,その開発の背景,原理および期待される応用を解説した。この技術のアイデアは偏光を検知する撮像系を「偏光眼」として利用することにあり,円偏光照明の二次元像に対して奥行き情報を追加できる。

シソーラス用語： *光学顕微鏡法 ,  *X線顕微鏡 ,  *軟X線 ,  *偏光解析法 ,  *三次元測定 ,  円偏光 ,  照明 ,  実時間処理 ,  深さ分析 ,  傾斜 ,  精密測定 ,  偏光測定 ,  測定精度 ,  直線偏光 ,  消光

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 偏光 ,  3次元 ,  リアルタイム計測 ,  開発