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J-GLOBAL ID：201002276339078465   整理番号：10A0632487

ダイモンドスクライビングおよび型成形による高効率ブレーズド回折格子の製造工程の最適化

Optimizing the fabrication process of a high-efficiency blazed grating through diamond scribing and molding

著者 (4件)： LEE ChaBum (Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR) ,  KURIYAGAWA Tsunemoto (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WOO Do-Kyun (Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR) ,  LEE Sun-Kyu (Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 5  ページ： 055028,1-7  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,数マイクロンメーターからナノメーターの範囲のマイクロ光学が,多くの分野でのキー技術となってきている。ダイヤモンド工具-干渉スクライビング法によって製造された無電解のNi型から複製された2.0μmの周期の0.2μm深さのブレーズド回折格子のマイクロ構造物のナノスケール熱変形を防止するための最適熱間エンボス加工の実験的研究を提供する。成形条件として,成形圧力,成形温度,および離型温度を実験パラメーターとして選定した。品質の指標として複製品の表面のなめらかさ,外形,表面粗度および光学的特性が最良の結果を生む条件を明らかにした。光学テストにより,複製品の回折効率は87.6%であった。

シソーラス用語： 罫書き ,  回折格子 ,  *ダイヤモンド工具 ,  *型 ,  *複製 ,  条件 ,  生産工程 ,  回折効率
準シソーラス用語： *スクライビング ,  *ブレーズド格子 ,  成形条件 ,  製造工程

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 型成形 ,  高効率 ,  ブレーズド回折格子 ,  製造工程 ,  最適化