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J-GLOBAL ID：201002277139039011   整理番号：10A0685098

錫DPP光源収集モジュール(SoCoMo): ベータ製品の現状のHVM開発

Tin DPP Source Collector Module (SoCoMo): Status of Beta products and HVM developments

著者 (6件)： YOSHIOKA Masaki (XTREME technol. GmbH, Goettingen, DEU) ,  TERAMOTO Yusuke (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Assoc. (EUVA), Shizuoka-prefecture, JPN) ,  ZINK Peter (Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU) ,  SCHRIEVER Guido (XTREME technol. GmbH, Goettingen, DEU) ,  NIIMI Gota (Extreme Ultraviolet Lithography System Dev. Assoc. (EUVA), Shizuoka-prefecture, JPN) ,  CORTHOUT Marc (Philips Extreme UV GmbH, Aachen, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7636  号： Pt.1  ページ： 763610.1-763610.12  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ノード≦22nmの鋳型を作製するために,13.5μm極端紫外線を発生するアルファDPP(放電生成プラズマ)光源を開発した。技術性能の実証装置として完全なSoCoMoを製作した。光源,箔トラップ,収集器,真空系,計測系,周辺系を運転システムに統合した。ベータ水準の走査装置にSoCoMoを適用した。モジュール構造であるので,さらなる開発や単一要素の今後の統合が可能である。現場で得た結果を示し,大量生産のための開発について論じた。

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,  極端紫外線 ,  *光源 ,  プラズマ ,  モジュール構造 ,  *大量生産 ,  回路パターン形成 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： 放電プラズマ ,  *極端紫外線光源

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 錫 ,  DPP ,  収集 ,  モジュール ,  現状 ,  開発