精密工学会大会学術講演会講演論文集 について
圧電素子 について
機構 について
浮上り について
補正 について
滑り について
効果 について
潤滑油 について
誤差 について
アクチュエータ について
位置決め について
制御 について
アクティブ補正 について
くさび効果 について
すべり案内機構 について
圧電アクチュエータ について
積分制御 について
微小位置決め について
変位誤差 について
変位補正 について
有限要素解析 について
運動機構 について
圧電デバイス について
圧電素子 について
すべり について
浮き上がり について
変位 について
補正法 について
研究 について