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J-GLOBAL ID：201002277657306562   整理番号：10A1147010

圧電素子を用いたすべり案内機構の浮き上がり変位補正法の研究(第1報)-基本システムの構成-

著者 (3件)： 堤博貴 (東京工高専) ,  福田勝己 (東京工高専) ,  磯部浩已 (長岡技科大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M35  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： すべり案内機構ではしゅう動時に油膜のくさび効果によって,基準面に対して可動面が離れる場合がある。この現象を浮き上がりと呼ぶ。本研究では,2つの圧電素子からなる微小位置決め機構をすべり案内機構に組み込み,可動面上で伸縮させて発生した浮き上がりを変位補正し,可動面の変位を初期状態に保つよう制御する方法について研究した。3次元CADにより微小位置決め機構を設計し,FEM解析が行われた。圧電素子は積分制御され,最終的にしゅう動時の浮き上がりを0.21μm以下に低減することができた。(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *機構 ,  浮上り ,  補正 ,  滑り ,  効果 ,  潤滑油 ,  誤差 ,  アクチュエータ ,  位置決め ,  制御
準シソーラス用語： アクティブ補正 ,  くさび効果 ,  *すべり案内機構 ,  圧電アクチュエータ ,  積分制御 ,  微小位置決め ,  変位誤差 ,  変位補正 ,  有限要素解析

分類 (2件)： 運動機構  (QB01080K) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電素子 ,  すべり ,  浮き上がり ,  変位 ,  補正法 ,  研究