文献

J-GLOBAL ID：201002278871372900   整理番号：10A0537228

平板状スケール格子におけるピッチ誤差と平面度偏差の迅速な評価手法

A fast evaluation method for pitch deviation and out-of-flatness of a planar scale grating

著者 (2件)： GAO W. (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Aramaki Aza Aoba 6-6-01, Aoba-ku, Sendai, Miyagi, JPN) ,  KIMURA A. (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Aramaki Aza Aoba 6-6-01, Aoba-ku, Sendai, Miyagi, JPN)
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 59  号： 1  ページ： 505-508  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 格子ピッチ1μmで干渉式で走査型の平板状エンコーダに用いられる平板状スケール格子(格子からの一次回折ビーム間の干渉に基づいて多軸の位置信号を産生するもの)を,アパーチャが100mmのFizeau干渉計を用いて評価した。格子からのゼロ次回折ビームの波形から,格子の完全平面からの偏差を先ず評価した。次に格子を傾けて一次回折ビームの軸に調節して,一次回折ビームの波形から格子のX軸およびY軸方向におけるピッチ誤差を評価した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *物差し ,  目盛 ,  ピッチ【機械要素】 ,  因子 ,  *誤差解析 ,  *回折格子 ,  *工作精度 ,  光格子
準シソーラス用語： 誤差因子 ,  誤差推定 ,  光学格子

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (7件)： スケール ,  格子 ,  ピッチ ,  誤差 ,  平面度 ,  偏差 ,  評価手法