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J-GLOBAL ID：201002279038776921   整理番号：10A0089840

Roll to Rollプロセスを用いたBaTiO₃ナノ粒子分散液塗布による薄膜コンデンサの形成と樹脂封孔効果

Fabrication and Resin Coating Effect of a Thin Film Capacitor Deposited by Roll to Roll Process Using Nano-Sized BaTiO₃ Particles Dispersed Suspension

著者 (4件)： 藤吉国孝 (福岡県工技セ 化学繊維研) ,  有村雅司 (福岡県工技セ 化学繊維研) ,  牧野晃久 (福岡県工技セ 化学繊維研) ,  山下洋子 (福岡県工技セ 化学繊維研)
資料名： エレクトロニクス実装学会誌  (Journal of Japan Institute of Electronics Packaging)
巻： 13  号： 1  ページ： 52-57  発行年： 2010年01月01日 
JST資料番号： S0579C  ISSN： 1343-9677  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： われわれはこれまで,チタン酸バリウムのナノ粒子分散液を調製し,この液を塗布および乾燥させることでチタン酸バリウムナノ粒子堆積薄膜を作製してきた。今回は,プリント配線板内蔵用高容量薄膜コンデンサの開発を目的に,現在工業的に用いられているroll to rollプロセスで,銅箔上にチタン酸バリウムナノ粒子堆積薄膜を連続形成した。得られた薄膜はクラックなどがなくおおむね平滑であり,1MHzでの容量密度は39nF/cm²,誘電損失は7.2%であった。さらに,得られた薄膜表面からエポキシ樹脂を塗布して封孔することで,誘電損失,耐電圧,抵抗率などの諸特性を向上させることができ,1MHzでの容量密度は36nF/cm²,誘電損失は2.3%であった。(著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜コンデンサ ,  *薄膜成長 ,  *チタン酸バリウム ,  ナノ粒子 ,  誘電損失

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  LCR部品  (NA05030D)

引用文献 (11件)：

• 1) “機器への搭載始まる部品内蔵プリント基板”,Nikkei Electronics, 2003年3月3日号,pp. 57–64, 2003
• 2) 福岡義孝,笹岡賢司,本村知久:“受動チップ/能動デバイス混載内蔵配線板の開発と実用化”,エレクトロニクス実装学会誌,Vol. 11, No. 4, pp. 260–265, 2008
• 3) 今中佳彦:“エンベッディドパッシブ技術”,エレクトロニクス実装学会誌,Vol. 8, No. 3, pp. 170–177, 2005
• 4) S. D. Cho, J. Y. Lee and K. Y. Paik: “Study on the Epoxy/BaTiO₃ Embedded Capacitor Films Newly Developed for PWB Applications”, Proceeding of 2002 Electronic Components and Technology Conference, pp. 504–509, 2002
• 5) 渋谷明信,山道新太郎:“フレキシブルフィルム上薄膜キャパシタの材料設計”,エレクトロニクス実装学会誌,Vol. 9, No. 5, pp. 419–422, 2006

タイトルに関連する用語 (5件)： プロセス ,  BaTiO3 ,  粒子分散液 ,  薄膜コンデンサ ,  封孔