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J-GLOBAL ID：201002279049969888   整理番号：10A0050767

小型精密機器のための組込み型多軸アクティブ制振・除振装置の開発

Development of a Built-in Type Multi-Axis Active Vibration Damping and Isolation Device for Small Precision Devices

著者 (6件)： 田上将治 (東京農工大) ,  田川泰敬 (東京農工大) ,  安田正志 (特許機器) ,  洞宏一 (特許機器) ,  野口保行 (特許機器) ,  加藤久雄 (特許機器)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 75  号： 760  ページ： 3184-3191  発行年： 2009年12月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プローブ顕微鏡などの超高分解能測定機器を利用する場合,機器設置環境と測定機器間の振動絶縁が重要となる。そのため除振装置が多用されるが,多くの除振装置は測定機器に比べて大きく,測定機器の利用上の利便性を損なう。また,除振性能の更なる向上も求められている。そこで本研究では機器に組込可能な小型のアクティブ振動制御装置の開発を行っている。本装置の振動制御系設計には著者らが提案する「直接慣性力制御」とモード解析を用いている。これにより,多入力出力の多軸振動系の制御系設計を見通しよく進められる。本論文では,この振動制御系の詳細と,試作した装置が良好な振動制御性能を実現したことを示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *精密機械 ,  高分解能 ,  慣性力 ,  モード解析 ,  計測器 ,  *アクティブ制御 ,  加速度計 ,  モデリング ,  振動制御 ,  *防振装置
準シソーラス用語： アクティブ制振 ,  除振効果

分類 (1件)： 振動伝搬  (BB02040K)

引用文献 (7件)：

• 1) SETO K. Vibration Control of Structure. CORONA PUBLISHING. (2006) p.155-187.
• 2) YOSHIMURA T. Research on Modal Analysis (9th Report, Proposition of Multireference Curve-Fitting based on the Maxima Likelihood Method-Part 1). Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series C. (1990) vol.56, no.523, p.527-534.
• 3) NAGAMATSU A. Modal Analysis and Control of Sound and Vibration. CORONA PUBLISHING. (1996) p.108-114.
• 4) 田川 泰敬. ほか. フィードフォワード制御を併用した6自由度微振動制御に関する研究(機械力学,計測,自動制御). 日本機械学會論文集. C編. 日本機械学会. (1997) vol.63, no.608, p.1081-1087.
• 5) 田上 将治. ほか. 直接慣性力制御を用いた制振・除振システムに関する研究(機械力学,計測,自動制御). 日本機械学會論文集. C編. 日本機械学会. (2008) vol.74, no.744, p.1979-1984.

タイトルに関連する用語 (6件)： 精密機器 ,  組込み ,  多軸 ,  アクティブ制振 ,  除振装置 ,  開発