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J-GLOBAL ID：201002280277632735   整理番号：10A0330025

軸対象磁場によって増強された真空アーク蒸着におけるカソードスポット運動と巨視的粒子の減少の研究

Study on cathode spot motion and macroparticles reduction in axisymmetric magnetic field-enhanced vacuum arc deposition

著者 (8件)： LANG W.c. (Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN) ,  LANG W.c. (Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN) ,  XIAO J.q. (Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN) ,  XIAO J.q. (Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN) ,  GONG J. (Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN) ,  SUN C. (Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN) ,  HUANG R.f. (Hunan YKH Surface Engineering Co., Ltd, Changsha 410013, CHN) ,  WEN L.s. (Div. of Surface Engineering of Materials, Inst. of Metal Res., Chinese Acad. of Sciences, Shenyang 110016, CHN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 84  号： 9  ページ： 1111-1117  発行年： 2010年04月19日 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空アーク堆積(VAD)の応用で,フィルムの上でのカソードスポット運動と巨視的粒子の減少(MPs)は2つの主要な発表課題である。今回は軸対象の磁場(AMF)をカソードの表面にかけて,TiNフィルム上のカソードスポットの運動とMPsの減少について調べた。その結果,AMFは,新しいスポットの始まりと関係した濃いプラズマの再分布によって,カソードスポット運動に影響を与える。AMFが増加するにつれ,カソードスポットが回転し,カソード目標端へドリフトする傾向が高まる。FEMシミュレーションやカソードスポット放電の物理的機構に基づいて,AMF中のカソードスポット運動の機構を論じた。形態,詳細なサイズ分布や得られたTiNフィルムの荒さを系統的に調べた。AMFの横成分の増大によって,数は少ないが,より小さなMPsの放出が見られた。TiNフィルム上のMPsの減小に対するAMFの効果について論じ,その結果を理論的予測と比較した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *蒸着 ,  *磁場効果 ,  *カソード ,  有限要素法 ,  数値解析 ,  *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  プラズマ ,  粒子
準シソーラス用語： *真空アーク蒸着 ,  窒化チタン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁場 ,  増強 ,  真空アーク蒸着 ,  運動 ,  研究