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J-GLOBAL ID:201002280963801080   整理番号:10A0713510

光硬化性樹脂を用いたダイヤフラム型ニューマティックバルブの作製法

著者 (14件):
資料名:
巻: 21st  ページ: 63  発行年: 2010年06月10日 
JST資料番号: L4117A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
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流体の実験・試験・測定方法及び装置  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  その他の成形 
物質索引 (1件):
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