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J-GLOBAL ID：201002280963801080   整理番号：10A0713510

光硬化性樹脂を用いたダイヤフラム型ニューマティックバルブの作製法

著者 (14件)： 内藤豊裕 (名大 院) ,  内藤豊裕 (名大 革新ナノバイオ研セ) ,  ARAYANAKOOL Rerngchai (Univ. Twente) ,  LE GAC Severine (Univ. Twente) ,  加地範匡 (名大 院) ,  加地範匡 (名大 革新ナノバイオ研セ) ,  岡本行広 (名大 院) ,  岡本行広 (名大 革新ナノバイオ研セ) ,  渡慶次学 (名大 院) ,  渡慶次学 (名大 革新ナノバイオ研セ) ,  VAN DEN BERG Albert (Univ. Twente) ,  馬場嘉信 (名大 院) ,  馬場嘉信 (名大 革新ナノバイオ研セ) ,  馬場嘉信 (産総研 健康工研)
資料名： 化学とマイクロ・ナノシステム研究会講演要旨集  (化学とマイクロ・ナノシステム研究会講演予稿集)
巻： 21st  ページ： 63  発行年： 2010年06月10日 
JST資料番号： L4117A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光重合型樹脂 ,  *ダイヤフラム ,  *流体素子 ,  *弁 ,  フォトレジスト ,  *フォトリソグラフィー ,  紫外線照射 ,  チャネル ,  パターン形成 ,  ポリジメチルシロキサン ,  型 ,  画像 ,  ラクトン ,  スピロ化合物 ,  フェノール類 ,  芳香族縮合化合物 ,  *マイクロ流体デバイス ,  マイクロチャネル ,  プラスチック成形用型 ,  フォトレジストSU-8
準シソーラス用語： *ニューマティックバルブ ,  SU-8 ,  マイクロ流路 ,  蛍光画像

分類 (3件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の成形  (YH04090Q)

物質索引 (1件)： フルオレセイン

タイトルに関連する用語 (3件)： 光硬化性樹脂 ,  ダイヤフラム ,  作製法