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J-GLOBAL ID：201002281890814370   整理番号：10A0464827

レーザ支援型アトムプローブ法によるシリコン同位体超格子中の同位体シリコン分布の高分解能測定

著者 (8件)： 清水康雄 (慶応大 理工) ,  河村踊子 (慶応大 理工) ,  植松真司 (慶応大 理工) ,  伊藤公平 (慶応大 理工) ,  富田充裕 (東芝 研開セ) ,  佐々木幹雄 (東芝ナノアナリシス) ,  内田博 (東芝ナノアナリシス) ,  高橋護 (東芝ナノアナリシス)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th  ページ： ROMBUNNO.18P-C-1  発行年： 2010年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超格子 ,  *ケイ素同位体 ,  *原子プローブFIM ,  高分解能 ,  レーザ照射 ,  MBE成長 ,  深さプロフィル ,  電界放出 ,  二次イオン質量分析 ,  光イオン化
準シソーラス用語： *三次元アトムプローブ ,  *レーザイオン化質量分析

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ ,  支援 ,  アトムプローブ ,  シリコン ,  同位体 ,  超格子 ,  分布 ,  高分解能