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J-GLOBAL ID：201002282420299069   整理番号：10A0492397

大量の炭素をドープしたZnOの構造および光学的特性に及ぼすアニーリングの効果

Effect of annealing on the structural and optical properties of heavily carbon-doped ZnO

著者 (9件)： HUANG He (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  DENG Z W (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  LI D C (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  BARBIR E (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  JIANG W Y (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  CHEN M X (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  KAVANAGH K L (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  MOONEY P M (Simon Fraser Univ., BC, CAN) ,  WATKINS S P (Simon Fraser Univ., BC, CAN)
資料名： Semiconductor Science and Technology  (Semiconductor Science and Technology)
巻： 25  号： 4  ページ： 045023,1-5  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 流量を変調したMOVPEによって成長させた大量の炭素をドープしたZnO薄膜の構造および光学的特性に対する空気中でのアニーリングの効果を研究した。X線回折および原子間力顕微鏡による解析から,アニーリングによって構造が可成り改善されることが分かった。構造の改善に併せて,炭素のsp²クラスタも同時に除去されることがRaman分光法によって確認された。sp²クラスタの正確な微小構造を研究し,アニーリング後における炭素の含有量を理解するには,更なる研究が必要である。

シソーラス用語： MOCVD ,  エピタクシー ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  *ドーピング ,  *炭素 ,  焼なまし ,  X線回折 ,  極点図 ,  原子間力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  Ramanスペクトル ,  表面粗さ ,  化学結合 ,  *半導体薄膜
準シソーラス用語： MOVPE

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭素 ,  ドープ ,  ZnO ,  光学的特性 ,  アニーリング