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J-GLOBAL ID：201002283303829517   整理番号：10A0463183

シリコン可変光減衰器とモニター用インラインシリコン光検出器の集積

Monolithic Integration of Si Variable Optical Attenuator and In-line Si Photodetector

著者 (7件)： PARK Sungbong (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  YAMADA Koji (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  TSUCHIZAWA Tai (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  WATANABE Toshifumi (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  NISHI Hidetaka (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  SHINOJIMA Yukihiro (NTT Microsystem Integration Labs.) ,  ITABASHI Sei-ich (NTT Microsystem Integration Labs.)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th  ページ： ROMBUNNO.17P-P3-17  発行年： 2010年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *集積光学 ,  *減衰器 ,  可変減衰器 ,  *赤外検出器 ,  *ケイ素 ,  監視装置 ,  インライン処理 ,  光通信 ,  等化器 ,  *フォトダイオード ,  *PINダイオード ,  近赤外線 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  SOI構造 ,  基板 ,  ドライエッチング ,  応答特性 ,  光電流
準シソーラス用語： *光減衰器

分類 (3件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  光導電素子  (NC03083X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  可変光減衰器 ,  モニター ,  インライン ,  光検出器 ,  集積