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J-GLOBAL ID：201002283543514130   整理番号：10A0635399

ガス選択性を有する小型高感度ガスセンサの開発

著者 (2件)： 川原昭彦 (佐賀県窯技セ) ,  志波雄三 (佐賀県窯技セ)
資料名： 佐賀県窯業技術センター研究報告書
巻： 2009  ページ： 33-36  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： L6820A  ISSN： 1883-1869  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガス感度の高感度化のために感ガス体材料の上下を電極で挟み,積層印刷技術によりガスセンサを製造した。さらに,ヒーターを兼ねた電極を使用して全材料の厚膜(Sn₂+In₂O₃)を同一面上に形成したセンサー素子をスクリーン印刷と転写印刷により製膜した。その結果,電極層を上面にすることにより白金の酸化触媒作用が関与したとみられる新たなガス感度特性が得られ,測定条件を絞ることによりガスの選択性も制御できた。導電性厚膜の積層印刷技術と電気特性評価技術を開発できたので,今後,新たな性膜,積層印刷の研究を進める。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  小型 ,  高感度 ,  選択性 ,  *酸化スズ ,  *酸化インジウム ,  白金電極 ,  スクリーン印刷 ,  転写印刷 ,  積層構造 ,  導電性 ,  厚膜 ,  触媒
準シソーラス用語： 酸化触媒

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (1件)：

• 佐賀県窯業技術センター平成 20年度研究報告書, p27-30(2009).

タイトルに関連する用語 (4件)： 選択性 ,  高感度 ,  ガスセンサ ,  開発