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J-GLOBAL ID：201002284407843186   整理番号：10A0554991

アルゴン高周波大気グロー放電プラズマジェットの特性に対する遮蔽円筒と基板の効果

Effects of the shielding cylinder and substrate on the characteristics of an argon radio-frequency atmospheric glow discharge plasma jet

著者 (4件)： LI Guo (Dep. of Engineering Physics, Tsinghua Univ., Beijing 100084, People’s Republic of China) ,  LE Pei-si (Dep. of Engineering Physics, Tsinghua Univ., Beijing 100084, People’s Republic of China) ,  LI He-ping (Dep. of Engineering Physics, Tsinghua Univ., Beijing 100084, People’s Republic of China) ,  BAO Cheng-yu (Dep. of Engineering Physics, Tsinghua Univ., Beijing 100084, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 107  号： 10  ページ： 103304  発行年： 2010年05月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 裸の金属電極を用いて生成する,高周波大気圧グロー放電(rf APGD)プラズマ源は,材料処理の分野において,有望な見通しを示してきた。それは低い破壊電圧,大きくかつ一様な放電領域及び化学的反応種の高い濃度の,特有の特徴を持つ。この論文において,Ar Iの696.5nm線の放射強度の空間分布を,種々の運転条件下のアルゴンrf APGDプラズマジェットについて調べる。すなわち,逆Abel変換を用いることによる,直接測定した,積分軸方向分布及び径方向分布。条件にはrf電力入力またはアルゴン流量の変化,固体遮蔽円筒または基板の存在を含める。実験結果は,他のパラメータは変化しないで,Ar Iの696.5nm線の放射強度はrf電力入力またはアルゴン流量を増加させると共に増加することを示す。そして固体遮蔽円筒は,プラズマ衝突ジェットの特性に,プラズマトーチノズル出口の下流での基板の存在が無い場合のそれより,重大な影響を持つ。プラズマジェット領域の中へ引張って行く周囲の空気の,質量流量を低減することによって。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマジェット ,  アルゴン ,  *高周波放電 ,  グロー放電 ,  気圧 ,  プラズマ源 ,  電極 ,  プラズマ処理 ,  電圧 ,  絶縁破壊 ,  範囲 ,  プラズマ化学反応 ,  濃度 ,  スペクトル線強度 ,  放射強度 ,  空間分布 ,  Abel変換 ,  電力 ,  流量 ,  遮蔽 ,  円筒 ,  基板 ,  プラズマトーチ
準シソーラス用語： 大気圧

分類 (1件)： プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I)

タイトルに関連する用語 (6件)： アルゴン ,  高周波 ,  大気 ,  グロー放電プラズマ ,  ジェット ,  遮蔽