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J-GLOBAL ID：201002286043902672   整理番号：10A0486129

ミリ波透過法を用い大気圧の窒素中で動作するマイクロ放電統合装置中の電子密度の測定

Measurement of electron density in a microdischarge-integrated device operated in nitrogen at atmospheric pressure using a millimetre-wave transmission method

著者 (3件)： ITO Yosuke (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SAKAI Osamu (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TACHIBANA Kunihide (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 19  号： 2  ページ： 025006,1-9  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧で窒素に少量のH₂OとO₂を加えた同軸ホローマイクロ誘電体バリア放電(CHMDBD)の電子密度をミリ波透過法を用いて測定した。窒素中で得た電子密度約5×10¹²cm^-3を簡単な粒子平衡モデルで確認した。少量のH₂Oを添加したときは電子密度はあまり影響を受けなかったが,H₂Oの分圧が大きくなると電子密度は低下した。窒素に1%以下の少量のO₂を加えた場合,電子密度は増加したが,1%以上の場合は電子付着により電子密度は低下した。いずれの場合もCHMDBD中の電子密度は10¹²~10¹³cm^-3のオーダで,大気圧のこのプラズマを診断するのにミリ波透過法は適していた。

シソーラス用語： *無声放電 ,  *電子密度 ,  *プラズマ密度 ,  *プラズマ診断 ,  電磁波透過 ,  窒素 ,  水 ,  酸素 ,  混合気体 ,  添加物効果 ,  電子付着 ,  圧力効果 ,  放電プラズマ
準シソーラス用語： ミリ波透過法 ,  大気圧 ,  同軸ホローマイクロ誘電体バリア放電 ,  誘電体バリア放電 ,  圧力依存性

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (7件)： ミリ波 ,  透過 ,  大気圧 ,  窒素 ,  マイクロ放電 ,  統合 ,  電子密度