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J-GLOBAL ID：201002286585919881   整理番号：10A0761754

小型共軸電極によるCH₄/Arrf放電で発生した電子エネルギー制御プラズマ中でのカーボンナノワイヤ生成

Carbon nanowire formation in electron-energy controlled plasma produced by CH₄/Ar rf discharges with small coaxial electrodes

著者 (3件)： OHARA Keiji (Dep. of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  SUZUKI Nozomu (Dep. of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  IIZUKA Satoru (Dep. of Electrical Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 7-9  ページ： 908-910  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CH₄-Arプラズマ中に置いたニッケル板表面で生じるダイヤモンド状炭素からのナノ粒子の表面にカーボンナノワイヤを生成した。CH₄の解離は小型の共軸管状電極で発生するArプラズマに沿ってCH₄の混合位置を変えることによって制御される。CH₄が低い電子温度T_e領域に導入された際には,ミクロ粒子の表面にナノワイヤの出現を観測した。一方,高T_e領域でCH₄を混合した場合にはカーボンナノウォール及び/又はナノ小板状体が生成した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *プラズマCVD ,  アルゴン ,  プラズマ ,  *電極 ,  *環状構造 ,  位置制御 ,  エネルギー ,  解離 ,  走査電子顕微鏡 ,  *微細構造 ,  Raman分光法 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  ナノ構造 ,  電子温度 ,  温度依存性 ,  アルカン
準シソーラス用語： カーボンナノウォール ,  *カーボンナノワイヤ ,  高周波プラズマ ,  *小型共軸電極 ,  電子エネルギー

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子エネルギー ,  プラズマ ,  カーボンナノワイヤ