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J-GLOBAL ID：201002286745042639   整理番号：10A0627039

DCマグネトロンスパッタリングによって合成されたMo-Al-Si-Nフィルムのミクロ構造と機械特性への,Al含有量の効果

Effect of Al content on the microstructure and mechanical properties of Mo-Al-Si-N films synthesized by DC magnetron sputtering

著者 (4件)： YUAN Z.g. (Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN) ,  YANG J.f. (Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN) ,  WANG X.p. (Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN) ,  FANG Q.f. (Key Lab. of Materials Physics, Inst. of Solid State Physics, Chinese Acad. of Sciences, Hefei 230031, CHN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 204  号： 21-22  ページ： 3371-3375  発行年： 2010年08月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mo,Al,およびSiから成る複合ターゲットから,Siウエハー,アルミナ,およびステンレス鋼の各基材に,Mo-Al-Si-Nフィルムを,反応マグネトロンスパッタリングで析出した。これらのフィルムの化学組成,ミクロ構造,表面形態,および機械特性を,エネルギー分散分光,X線回折,電界放射走査電子顕微鏡,ナノ押し込み,および熱天秤で,キャラクタリゼーションし,9at%の一定のSi含有量のMo-Al-Si-Nフィルムの特性への,Al含有量の効果を調査した。低いAl含有量では,Mo-Al-Si-Nフィルムの配向方位は(111)で,Al含有量が増加すると,徐々に,(200)に変化することが判明した。Al含有量が増加すると,Mo-Al-Si-Nフィルムの硬度と弾性率は,初めは,増加し,10at%Alで,それぞれ29GPaと350GPaの最大値を通過した後に,減少した。Al含有量が13at%に達すると,Mo-Al-Si-Nフィルムの酸化温度は610°Cまで増加した。これらの結果は,10at%のAlの添加は,9at%Siを含むMo-Si-Nフィルムの特性を改良できることを示している。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *窒化物 ,  *モリブデン化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *ケイ素化合物 ,  蒸着膜 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  微細構造 ,  アルミニウム ,  含有量 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  ステンレス鋼 ,  アルミナ ,  微小硬さ ,  Young率 ,  耐酸化性 ,  セラミック被覆
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  *窒化モリブデンアルミニウムケイ素

分類 (1件)： ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D)

タイトルに関連する用語 (8件)： DCマグネトロンスパッタリング ,  Mo ,  Al ,  Si ,  フィルム ,  ミクロ構造 ,  機械特性 ,  Al含有量