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J-GLOBAL ID：201002287001994859   整理番号：10A0769097

2値擬似ランダムグレーティングと非理想的グルーブ形状のアレイを用いた表面プロフィルメーターの変調伝達関数校正の安定性

Stability of modulation transfer function calibration of surface profilometers using binary pseudo-random gratings and arrays with nonideal groove shapes

著者 (8件)： BARBER Samuel K. (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  ANDERSON Erik H. (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  CAMBIE Rossana (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  MARCHESINI Stefano (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  MCKINNEY Wayne R. (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  TAKACS Peter Z. (Brookhaven National Lab., New York) ,  VORONOV Dmitry L. (Lawrence Berkeley National Lab., California) ,  YASHCHUK Valeriy V. (Lawrence Berkeley National Lab., California)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 49  号： 5  ページ： 053606.1-053606.9  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面プロフィルメータによる表面高さのパワースペクトル密度(PSD)分布の測定の主な問題は,機器の未知の変調伝達関数(MTF)により生じ,高い空間周波数でPSDを歪める傾向がある。2値擬似ランダムアレイに基づく試験表面を作製し,干渉顕微鏡の2D MTFの校正への適用を調べた。作製欠陥がMTF校正の品質への及ぼす影響を検討し,このような欠陥の原因となる手順を示した。

シソーラス用語： *プロフィルメータ ,  *光学伝達関数 ,  回折格子 ,  溝形 ,  キャリブレーション ,  干渉顕微鏡 ,  パワースペクトル密度 ,  表面粗さ ,  ランダム面
準シソーラス用語： *変調伝達関数 ,  X線光学

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (9件)： 2値 ,  擬似ランダム ,  グレーティング ,  グルーブ ,  アレイ ,  プロフィルメーター ,  変調伝達関数 ,  校正 ,  安定性