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J-GLOBAL ID：201002287042619612   整理番号：10A0278030

低誘電性・定周期性中間多孔質有機シリカ膜の真空助勢・エーロゾル蒸着による作製

Vacuum-Assisted Aerosol Deposition of a Low-Dielectric-Constant Periodic Mesoporous Organosilica Film

著者 (5件)： WANG Wendong (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  GROZEA Daniel (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  KIM Ara (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  PEROVIC Douglas D. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  OZIN Geoffrey A. (Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 22  号： 1  ページ： 99-102  発行年： 2010年01月05日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周期構造の中間多孔質シリカの軟質鋳型を利用する作製に着目し,有機シリカ薄膜について,気相送達と蒸発誘起自己集合の両機能を有するエーロゾル蒸着操作(真空助勢方式)の適用により検討した。有機シリカ前駆体(1,2-ビス(トリエトキシシリル)エタン),界面活性剤(塩化セチルトリメチルアンモニウム),触媒(塩酸),含水有機溶媒の混合溶液の噴霧によるエーロゾルの調製,真空助勢によるエーロゾルの輸送の際の溶媒蒸発とエーロゾル液滴中での自己集合による中間構造形成,エーロゾルの収束・発散ノズルを用いた基板表面への蒸着(遠心力を利用)による薄膜形成,鋳型剤の加熱除去による最終生成物は,中間多孔質有機シリカ薄膜である。試作装置で調製した薄膜の形状的,形態的,微細構造的,細孔構造的な特性化を行い(誘電定数(k):2以下,Young率:4GPa以上),この作製法の特徴を明らかにした。

シソーラス用語： *多孔質体 ,  *有機-無機ハイブリッド ,  誘電性 ,  微細構造 ,  薄膜 ,  真空処理 ,  エアロゾル ,  蒸着 ,  鋳型効果 ,  自己集合 ,  界面活性剤 ,  触媒 ,  構造 ,  細孔構造 ,  脂肪族アミン ,  第四アンモニウム ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  *メソポーラス有機シリカ ,  メソ構造 ,  酸触媒 ,  周期性

分類 (2件)： 合成鉱物  (CD01040K) ,  有機けい素化合物  (CF08030C)

物質索引 (2件)： セチルトリメチルアンモニウムクロリド ,  1,2-ビス(トリエトキシシリル)エテン

タイトルに関連する用語 (8件)： 低誘電性 ,  周期性 ,  多孔質 ,  有機シリカ ,  真空 ,  エーロゾル ,  蒸着 ,  作製