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J-GLOBAL ID：201002288231388717   整理番号：10A0426162

レーザー干渉露光法を用いたナノパターニング技術による金ナノ構造の作製と光学評価

著者 (7件)： 荒木剛 ,  村澤尚樹 ,  上野貢生 ,  横田幸恵 ,  西島喜明 ,  西井準治 ,  三澤弘明
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 90th  号： 3  ページ： 850  発行年： 2010年03月12日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光の波長よりも小さい金属ナノ微粒子に光を照射すると,局在表面プラズモン共鳴が誘起され,回折限界よりも遥に小さい金属ナノ構造表面近傍に光を局在化させることができる。今回,我々はレーザー干渉露光法を用いたナノパターニング技術によって,金ナノ構造を作製し,プラズモン分光特性の評価を行ったので報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *パターン形成 ,  ナノテクノロジー ,  *ナノ構造 ,  *金 ,  微細加工 ,  *レーザ照射 ,  レーザ応用 ,  *干渉測定 ,  *露光 ,  プラズマ共鳴 ,  表面プラズモン ,  フォトレジスト ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  反射スペクトル
準シソーラス用語： *ナノパターニング ,  表面プラズモン共鳴

分類 (4件)： 光化学一般  (CB08010U) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  固体プラズマ  (BM02160W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザー ,  干渉露光法 ,  ナノパターニング ,  金 ,  ナノ構造 ,  作製 ,  光学 ,  評価