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J-GLOBAL ID：201002289800657795   整理番号：10A0032408

PLD法によるSrZrO₃薄膜の形成と結晶構造

SrZrO₃ Thin Film Growth by PLD Process and the Structural Properties

著者 (12件)： 佐多教子 (東北大 工) ,  田村奨 (東北大 工) ,  野原佑太 (東北大 工) ,  兼子祐司 (東北大 工) ,  長尾祐樹 (東北大 工) ,  蔭山博之 (産業技術総合研) ,  野村勝裕 (産業技術総合研) ,  半田克巳 (京大 化研) ,  鶴井隆雄 (東北大 金属材料研) ,  樋口透 (東京理大 理) ,  井口史匡 (東北大 工) ,  湯上浩雄 (東北大 工)
資料名： 固体イオニクス討論会講演要旨集  (Extended Abstracts. Symposium on Solid State Ionics in Japan)
巻： 35th  ページ： 44-45  発行年： 2009年12月07日 
JST資料番号： L1398A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： セラミック膜 ,  *酸化ストロンチウム ,  *酸化ジルコニウム ,  *レーザ蒸着 ,  パルスレーザ照射 ,  蒸着膜 ,  エピタクシー ,  結晶構造 ,  プロトン伝導 ,  エレクトロセラミック ,  膜構造 ,  EXAFS ,  スペクトル解析 ,  アニーリング【現象】 ,  配位数 ,  化学結合 ,  格子歪 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： PLD法

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： PLD法 ,  薄膜 ,  結晶構造