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J-GLOBAL ID:201002290182596630   整理番号:10A0732471

マイクロギャップESDのためのスパーク抵抗式の検証

Verification of Spark-Resistance Formulae for Micro-Gap ESD
著者 (2件):
資料名:
巻: E93-B  号:ページ: 1801-1806  発行年: 2010年07月01日 
JST資料番号: L1369A  ISSN: 0916-8516  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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1000V以下の帯電人体によるマイクロギャップ静電気放電(ESD)現象はハイテク情報デバイスに重大な障害を引き起こす。このメカニズムを明らかにするため,このようなマイクロギャップESDの放電過程を把握することは欠かせない。このために,Rompe-WeizelとToeplerにより提案された二種類の放電抵抗則がよく使われており,これらはそれぞれ,放電導電性は内部エネルギーと放電チャネルに注入された電荷に比例するとの仮説から導かれている。しかしながら,その検証は十分にはなされていない。どの放電抵抗式がマイクロギャップESDに適用できるかを確かめるため,12GHzのディジタルオシロスコープで,あらかじめ,200Vと2000Vの電圧で帯電した人間から携帯金属片を通して放電した放電電流を測定し,放電ギャップのコンダクタンスを求めて両仮説が放電の初期段階にはおおよそ妥当であることを明らかにした。本研究では,更に上記仮説を検証するため,上記放電抵抗式を基に放電ギャップ間の閉形式放電電圧式を導き,測定した放電電流から推定した放電ギャップと比較して,どの放電抵抗式がマイクロギャップESDに適用できるかを研究した。その結果,帯電電圧と接近速度に関係なく,Rompe-Weizel式がToepler式よりも良好にマイクロギャップESDの放電特性を説明できることを見出した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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放電一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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