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J-GLOBAL ID：201002290281706072   整理番号：10A0471409

CWレーザ背面照射法(CW-LBI)によるガラスの内部変質(第3報)-ガラス内部への白金微粒子の導入-

Laser Induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW-LBI)-Platinum Implantation into Glass-

著者 (3件)： 山崎貴斗 (東京工大 大学院) ,  比田井洋史 (東京工大 大学院) ,  戸倉和 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 76  号： 5  ページ： 577-581  発行年： 2010年05月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ガラス表面に成膜した白金をCW-LBI法により溶融させ,ガラス内部に微粒子として導入する方法を提案し,金属膜がガラスに導入を始めるメカニズムなどについて検討した。これにより得た主な知見を次に示した。1)ホウ珪酸ガラスに堆積させた白金膜にレーザ照射することで白金膜を溶融し,ガラス内部に微粒子として導入できること,2)白金微粒子はレーザ光により加熱され周囲のガラスを軟化することで移動すること,また白金微粒子はガラス内部を3mm以上移動するが,移動をもたらす力についてはわかっていないこと,3)内部に導入した白金は高い純度で,EDSではガラスの成分は検出できないこと,またその直径は5μm程度であること,4)白金微粒子の移動した軌跡は変質しており,その太さは10μm程度であること,この変質部から白金は検出されないこと。

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *改質 ,  *ドーピング ,  *白金 ,  微粒子 ,  裏面 ,  *加工変質層 ,  レーザ加工 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  連続波 ,  ホウケイ酸ガラス ,  *ガラス
準シソーラス用語： EDS【分光分析】

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

引用文献 (18件)：

• 1) K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto and K. Hirao : Writing Waveguides in Glass with a Femtosecond Laser, Opt. Lett. 21, 21 (1996) 1729.
• 2) R. R. Gattass and E. Mazur : Femtosecond Laser Micromachining in Transparent Materials, Nature Photonics 2, 4 (2008) 219.
• 3) H. Hidai, M. Yoshioka, K. Hiromatsu and H. Tokura : Glass Modification by Continuous-Wave Laser Backside Irradiation (CW-LBI), Appl. Phys. A, 96, 4 (2009) 869.
• 4) M. Yoshioka, Z. Gu, H. Hidai and H. Tokura : Laser Induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW-LBI) : Conditions for Inducing Modification by CW-LBI, J. Jpn. Soc. Precis. Eng., 72, 9 (2006) 1118. (in Japanese).
• 5) H. Takayanagi, M. Yoshioka, H. Hidai and H. Tokura : Laser-induced Modification in Glasses by CW Laser Backside Irradiation (CW LBI) : Evaluation of Modified Glasses, J. Jpn. Soc. Precis. Eng., 73, 12 (2007) 1330. (in Japanese).

タイトルに関連する用語 (7件)： CWレーザ ,  背面 ,  CW ,  ガラス ,  変質 ,  白 ,  金微粒子