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J-GLOBAL ID：201002290843211390   整理番号：10A1070067

SIMSにおける微小領域分析の定量化

Quantification of micro-area analysis in SIMS

著者 (2件)： SEKI Setsuko (Takushoku Univ., Tokyo, JPN) ,  TAMURA Hifumi (Takushoku Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 42  号： 10/11  ページ： 1585-1588  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SIMS深さプロフィリングにおいてドーパント試料に対する微小領域分析の定量化を試みた。まず,最適な分析条件下で高い強度および高い深さ分解能を持つ良いプロフィルが注意深く測定された。次に,投影範囲の標準偏差ΔR_pが深さプロフィルから測定された。最後に,Gaussプロフィルの近似下でピーク濃度N_pが方程式から計算された。この方法は,実際の深さプロフィルから直接測定されたΔR_p値から濃度が導出され,N_pが方程式を用いて容易に算出されるため,実際的で便利であった。この方法は,特にメサ作製による微小領域分析に対して,極めて貴重であった。

シソーラス用語： *深さプロフィル ,  *二次イオン質量分析 ,  深さ分析 ,  定量分析 ,  Gauss型線形 ,  メサ構造 ,  面積 ,  標準偏差
準シソーラス用語： 微小面積

分類 (2件)： 質量分析  (CC03013N) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (4件)： SIMS ,  微小領域 ,  分析 ,  定量化