文献

J-GLOBAL ID：201002291105356533   整理番号：10A1245476

フェムト秒レーザー加工における加工開始の検出と穴深度のリアルタイム計測

著者 (1件)： 神谷眞好 (静岡県工業技術研)
資料名： 静岡県工業技術研究所研究報告  (Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
号： 3  ページ： 113-118  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： G0604B  ISSN： 1883-2350  CODEN： SKGKBP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザを利用することにより,さまざまな材料に対して,熱影響の少ない微細加工が可能である。従来のレーザ微細加工に関する研究の多くは,加工結果についてのものが主であった。ここでは,加工開始の検出や穴深度のリアルタイムモニタリング技術の開発研究を示した。加工開始は,照射光エネルギを徐々に増大させながら被加工物から反射する光エネルギの変化を解析して検出した。加工中の穴深度は,照射光から予め分岐した参照光と,被加工物からの反射光との干渉スペクトルを解析することによりリアルタイムで計測した。この技術により,制御性の高いフェムト秒レーザ加工が実現出来る。

シソーラス用語： *微細加工 ,  *パルスレーザ ,  *制御 ,  光 ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *リアルタイム制御 ,  反射光

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (6件)：

• 熊谷寛:「フェムト秒レーザー加工」, 応用物理, 67-9,(1998), pp. 1051-1055.
• 緑川克美:「フェムト秒レーザー加工」, Oplus E, 21-9,(1999), pp. 1130-1136.
• K. Furusawa, et al.: “Femtosecond laser micromachining of TiO2 crystal surface for robust optical catalyst”, J. Appl. Phys., 87-4,(2000), pp. 1604-1609.
• 橋田昌樹:「フェムト秒加工によるナノ構造物形成」, Laser Cross, 181,(2003), pp. 1-3.
• M. Kamiya, et al.: “Monitoring of Target Material Change in Femtosecond Laser Processing by Measurement of Spectral R eflectance”, Proc.3rd Asian Pacific Laser Symposium,(2002). pp. 458-461.

タイトルに関連する用語 (3件)： フェムト秒レーザー加工 ,  深度 ,  リアルタイム計測