ISSM2010  生産ライン効率化を推進する台湾 プロセス制御/改善に注力する日本

服部毅

文献

J-GLOBAL ID：201002292758789512 整理番号：10A1327957

ISSM2010 生産ライン効率化を推進する台湾プロセス制御/改善に注力する日本

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著者 (1件)：
資料名：
号： 200 ページ： 86-87 発行年： 2010年11月15日
JST資料番号： L5481A 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体製造・生産に焦点を絞った国際会議ISSM2010が去る10月18日~20日,東京で開催されたので,その状況を紹介した。製造戦略・生産管理からクリーン化技術・環境対策に至る11分野で65件の研究成果が発表され,半導体製造革新に向けた活発な議論が行われた。米国からの発表が激減する一方,台湾からの発表が増加した。欧州では半導体メーカーの倒産・売却やファブライト化が相次いだため,毎回発表件数が減少気味である。ドイツから,450mm大口径化対応の装置および材料の開発を促進するための欧州連合プロジェクトの紹介があった。

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固体デバイス一般

引用文献 (2件)：

服部毅: Electronic Journal (2008. 11) pp. 100-101
Electronic Journal Daily News (2010. 10. 19/20配信)

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