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J-GLOBAL ID：201002293636370630   整理番号：10A0196639

サーフェステクスチャ加工とトライボロジー 表面微細構造を有するDLCのトライボロジー特性

著者 (1件)： 大竹尚登 (東京工大 大学院)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 55  号： 2  ページ： 89-94,69(2)  発行年： 2010年02月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では,マスキング成膜法により形成した表面にμmオーダの微細構造を有するセグメント構造DLC(S-DLC)膜のトライボロジー特性について解説した。主な内容項目を次に示した。1)概要:DLC(ダイヤモンド状炭素)膜の構造と特性,カーボンナノチューブ(CNT)上に合成したDLCのTEM写真,高まるDLC膜の高性能化,高信頼化,機能複合化の要求,コーティング膜の表面テクスチャ形成例とその特徴,2)表面微細構造DLCコーティング技術:セグメント構造DLC膜の概念図(連続膜構造,セグメント構造),成膜条件,セグメント構造DLC膜の合成法,3)セグメント構造DLC膜のトライボロジー特性:円筒インデンタの押込のFEM解析結果,連続膜とセグメント膜構造を積層させたDLCコーティング部材の表面とボールオンディスク試験結果,ボールオンディスク試験後のセグメント構造DLC膜,高荷重でしゅう動速度を10,50,100mm/sと変化させたときの連続構造DLC膜(C-DLC)とS-DLCの比摩耗量,10W-30エンジンオイル中での連続膜およびフッ素コートセグメント構造DLC膜のボールオンディスク試験後の表面および相手ボールの観察結果(しゅう動速度100mm/s),フッ素樹脂を複合した連続構造およびセグメント構造DLC膜のピンオンディスク試験結果など。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *微細構造 ,  トライボロジー ,  摩耗 ,  化学蒸着 ,  表層構造 ,  摩耗試験 ,  脂肪族フッ素化合物 ,  形状効果
準シソーラス用語： *表面形状 ,  *トライボロジー特性 ,  比摩耗量

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (19件)：

• 齋藤秀俊. DLC膜ハンドブック. 2006
• 大竹尚登. DLCの応用技術. 2007
• 大竹尚登. ダイヤモンド技術総覧. 2007, 125
• 太刀川英男. まてりあ. 2005, 44, 3, 245
• KANO, M. Transient Processes in Tribology. 2004, 43, 689

タイトルに関連する用語 (4件)： トライボロジー ,  表面微細構造 ,  DLC ,  トライボロジー特性