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J-GLOBAL ID：201002294164470624   整理番号：10A1086236

パターン化メディアテンプレートとディスクの欠陥低減

Defect Reduction of Patterned Media Templates and Disks

著者 (9件)： LUO Kang (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  HA Steven (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  FRETWELL John (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  RAMOS Rick (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  YE Zhengmao (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  SCHMID Gerard (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  LABRAKE Dwayne (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  RESNICK Douglas J. (Molecular Imprints Inc., TX, USA) ,  SREENIVASAN S. V. (Molecular Imprints Inc., TX, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7748  ページ： 77480A.1-77480A.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インプリントリソグラフィはナノスケールパターンの複製に有効な技術となってきている。生産にインプリントリソグラフィが受け入れられるにはデバイス製造の費用対効果にふさわしい欠陥レベルの証明が必要である。本研究ではJ-FIL(ジェットアンドフラッシュインプリントリソグラフィ)を用いたハードディスクパターンの欠陥検査の結果を要約した。検査は光学的自動検査装置で実施した。ハードディスクドライブ市場において,テンプレートとインプリントディスクの両方の欠陥を理解することは重要である。本研究ではインプリントパターン化メディアの自動欠陥検査と欠陥の分類のための計測について報告する。KLA-TencorのCandela CS20と6120装置はディスク表面の光学特性を表面の反射率と散乱光の高分解能濃淡画像としてマッピングする。この方法によって確認された欠陥はさらにモルホロジーに従って分類される。インプリントプロセスはディスククリーニングとインプリントする前の接着層プロセスを最適化した後に調べた。広範囲にインプリントランを実行し,欠陥のタイプと傾向を報告した。

シソーラス用語： パターン形成 ,  押付成形 ,  微細加工 ,  *リソグラフィー ,  *磁気ディスク ,  磁気記録装置 ,  *欠陥検査 ,  故障検出
準シソーラス用語： ナノインプリントリソグラフィー

分類 (2件)： 記憶装置  (JC04060F) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： パターン化 ,  テンプレート ,  ディスク ,  欠陥