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J-GLOBAL ID：201002295821234029   整理番号：10A0908391

微結晶シリコン太陽電池製造装置およびタンデム型薄膜シリコン太陽電池特性

著者 (1件)： 浅利伸 (アルバック 千葉超材料研)
資料名： ULVAC Technical Journal  (ULVAC Technical Journal)
号： 73  ページ： 4-7  発行年： 2010年08月20日 
JST資料番号： L3761A  ISSN： 0910-6189  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光電変換効率を上げる手段として,アモルファスシリコンと微結晶シリコンの2接合型タンデムモジュールが注目されている。2009年にアルパック社は,微結晶シリコン成膜用のCVD装置である「CIM-1400」を開発し,従来のアモルファスシリコン成膜ラインにこれを追加することで,前記タンデムモジュールの提供が可能になった。「CIM-1400」が量産ラインに供用されて1年以上が経過し,低成膜速度で高品質微結晶膜を作るコンセプトと生産コスト低減の効果が実証されている。本文では,主にプラズマCVD装置および膜特性について解説した。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *微結晶 ,  *太陽電池 ,  *プラズマCVD ,  薄膜成長 ,  安定性 ,  効率 ,  *アモルファスシリコン
準シソーラス用語： *微結晶シリコン ,  *結晶シリコン太陽電池 ,  *薄膜太陽電池 ,  *成膜 ,  光電変換効率

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (2件)：

• T. Matsui, M. Kondo, A. Matusda: Proceedings, 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2003, p. 1570.
• M. Takai, T. Nishimoto, M. Takai and A. Matsuda: Appl. Phys. Lett.77(2000) p. 2828.

タイトルに関連する用語 (4件)： 結晶シリコン太陽電池 ,  製造装置 ,  タンデム ,  薄膜シリコン太陽電池