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J-GLOBAL ID：201002296200071882   整理番号：10A0319977

サブナノメートル位置決め装置の開発: 新しいリニアモータの直線運動ボール案内路との結合

Development of a sub-nanometer positioning device: combining a new linear motor with linear motion ball guide ways

著者 (3件)： OTSUKA J (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN) ,  TANAKA T (Toyota National Coll. of Technol., Aichi, JPN) ,  MASUDA I (Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 21  号： 3  ページ： 037001,1-5  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  開発 ,  *リニアモータ ,  直線運動 ,  案内装置 ,  軌道 ,  球 ,  結合 ,  効率 ,  長さ ,  力 ,  性能
準シソーラス用語： サブナノメートル ,  案内路 ,  ボール ,  寸法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位置決め装置 ,  開発 ,  リニアモータ ,  直線運動 ,  ボール