文献

J-GLOBAL ID：201002298645212640   整理番号：10A0683473

応用分野を拡大するマイクロマシン/MEMS技術 MEMS技術の最新動向-東北大学におけるプロジェクト-

著者 (1件)： 江刺正喜 (東北大 原子分子材料科学高等研究機構)
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 49  号： 7  ページ： 10-14  発行年： 2010年07月01日 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 東北大学におけるプロジェクトを中心に,MEMS技術の最新動向について紹介した。はじめに,MEMS光スキャナの応用として,電磁光スキャナを用いた距離画像センサと光スキャナを用いたレーザプロジェクタおよび圧電光スキャナを紹介した。つぎに,競合しない14社の企業と東北大学とで行っている乗り合いウエハのプロジェクトを紹介した。このプロジェクトでは外注したウエハに追加工で低温接合や低温堆積などをする集積MEMSの研究開発を低コストで行っている。また,微細化LSIの多品種少量化をマスクレスで実現できるように,スループットの大きな「超並列電子線描画装置」を開発している。また,東北大学の西澤記念研究センターでは,4/6インチウエハで試作ができるように整備し,開発試作のためのコインランドリとしている。これでは設備をもっていなくても人を派遣して開発できるようにして,参入障壁を下げられるようにする。

シソーラス用語： マイクロマシン ,  マイクロマシニング ,  *MEMS ,  走査装置 ,  イメージセンサ ,  *研究開発 ,  電子ビームリソグラフィー ,  *試作
準シソーラス用語： スキャナ ,  技術動向 ,  光MEMS

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 応用 ,  拡大 ,  マイクロマシン ,  MEMS ,  最新動向 ,  プロジェクト