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J-GLOBAL ID：201002298799337160   整理番号：10A0329005

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ-第6報 摩擦力の測定-

著者 (6件)： 中村満 (埼玉大) ,  小谷浩之 (埼玉大) ,  高崎正也 (埼玉大) ,  高島舞 (名古屋大) ,  大竹尚登 (東京工大) ,  水野毅 (埼玉大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F09  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,  リニアモータ ,  *摩擦力 ,  *超音波モータ ,  *DLC膜 ,  位置決め
準シソーラス用語： 炭素膜

分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： セグメント ,  ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦駆動 ,  弾性表面波 ,  リニアモータ ,  摩擦力