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J-GLOBAL ID：201002299095839213   整理番号：10A0532669

先端プラズマエッチングプロセスのモデリングと体系化

著者 (1件)： 斧高一 (京大 大学院工学研究科)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 61  号： 6  ページ： 457-465  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマを用いたドライエッチング(プラズマエッチング)は,今日半導体やマイクロマシン(MEMS)作製プロセスなどの先端技術分野で不可欠な微細加工手段となっている。塩素系・臭素系プラズマによるSiエッチングについて,モンテカルロ法をベースとした原子スケールセルモデル(ASCeM),及び古典的分子動力学(MD)法を用いた加工形状進展モデリング・シミュレーションに関し,下記事項などについて解説した。1)本研究開発の背景と現状,2)プラズマエッチングのモデリング,3)原子スケールセルモデル(ASCeM)の概要とエッチング形状シミュレーション,4)古典的分子動力学(MD)法の概要とエッチング基礎特性と形状シミュレーション。

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,  モデル ,  *プロセス解析 ,  *モデリング ,  半導体プロセス ,  マイクロマシニング ,  *モンテカルロ法 ,  分子動力学 ,  *プロセスシミュレーション ,  *性能分析
準シソーラス用語： プロセスモデル ,  *特性解析

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマエッチング ,  プロセス ,  モデリング ,  体系