文献

J-GLOBAL ID：201002299398178880   整理番号：10A0565111

Poly(dimethylsiloxane)に準拠したエラストマー基板上の可伸長 低抵抗厚い銀電極

Stretchable Low Resistance Thick Silver Electrode on Poly(dimethylsiloxane) Compliant Elastomeric Substrate

著者 (5件)： JEONG Jaewook (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Sangwoo (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  CHO Junhee (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Donghyun (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  HONG Yongtaek (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 5,Issue 2  ページ： 05EB09.1-05EB09.4  発行年： 2010年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文で,粗くしたpoly(dimethylsiloxane)(PDMS)基板上に直接堆積した可伸長,低抵抗,厚いの電極を実証し,そして,張力応力下で表面上の亀裂発展を分析した。表面粗さをPDMS基板上に導入した時,電極の伸長特性の改良を応力分布の変化を分析することによって説明した。 粗い表面が2つの重要な役割を演ずることが分かった。比較的長い堆積プロセスの間,厚い電極の薄膜応力を解放しそして,電極において高度に応力を加えられたスポットを一様に分布させる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *銀 ,  *電極 ,  *フレキシブル基板 ,  亀裂 ,  表面粗さ ,  応力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• S. Wagner, S. P. Lacour, J. Jones, P. I. Hsu, J. C. Sturm, T. Li, and Z. Suo: Physica E 25(2004)326.
• G. P. Crawford: Flexible Flat Panel Displays (Wiley, Chichester, U. K., 2005).
• D. Brosteaux, F. Axisa, M. Gonzalez, and J. Vanfleteren: IEEE Electron Device Lett.28(2007)552.
• S. P. Lacour, J. Jones, Z. Suo, and S. Wagner: IEEE Electron Device Lett.25(2004)179.
• M. Watanabe, H. Shirai, and T. Hira: J. Appl. Phys.92(2002)4631.

タイトルに関連する用語 (3件)： エラストマー ,  低抵抗 ,  銀電極