特許
J-GLOBAL ID：201003001126460913
真空バルブの制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-517233
公開番号（公開出願番号）：特表2010-534301
出願日： 2008年07月21日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】 真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。閉軌道において弾性シール(4)がシール面(35)に当接する位置(p)およびその際の閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空バルブの運転または制御方法であって、前記真空バルブは、
バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、
前記真空バルブを密閉するため、開位置と、前記バルブ開口部(2)が閉じられるとともに少なくとも1つの弾性シール(4)がシール面(35)に押し付けられる閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、
前記閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、
前記アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備え、
前記閉軌道において前記弾性シール(4)が前記シール面(35)に当接する位置(p)およびその際の前記閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が前記制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられることを特徴とする方法。
IPC (4件)：
F16K 31/04
, F16K 3/02
, F16K 3/00
, F16K 37/00
F16K31/04 K
, F16K3/02 A
, F16K3/00 Z
, F16K37/00 M
3H053AA02
, 3H053AA03
, 3H053AA22
, 3H062AA05
, 3H062BB28
, 3H062BB33
, 3H062CC01
, 3H062CC15
, 3H062EE06
, 3H062FF03
, 3H062GG08
, 3H065AA03
, 3H065BA02
, 3H065BA07
, 3H065BB15
, 3H065BC07
, 3H065BC08
, 3H065CA05
, 3H065CA06
審査官引用 (1件)
-
真空ゲートバルブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-019865
出願人：株式会社ニコン
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