特許
J-GLOBAL ID:201003003566527451
エネルギー線硬化型チップ保護用フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松下 亮
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-196746
公開番号(公開出願番号):特開2010-031183
出願日: 2008年07月30日
公開日(公表日): 2010年02月12日
要約:
【課題】高硬度であって、且つ、チップに対する密着性に優れた、信頼性の高いエネルギー線硬化型チップ保護用フィルムを提供すること。【解決手段】本発明のエネルギー線硬化型チップ保護用フィルムは、(A)バインダーポリマー成分、(B)カチオン重合型の硬化性成分、(C)カチオン系光重合開始剤、(D)ラジカル重合型の硬化性成分、及び(E)ラジカル系光重合開始剤を含有してなるエネルギー線硬化型保護膜形成層を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー成分、(B)カチオン重合型の硬化性成分、(C)カチオン系光重合開始剤、(D)ラジカル重合型の硬化性成分、及び(E)ラジカル系光重合開始剤を含有してなるエネルギー線硬化型保護膜形成層を有することを特徴とするエネルギー線硬化型チップ保護用フィルム。
IPC (8件):
C09J 7/02
, H01L 21/301
, H01L 23/29
, H01L 23/31
, C09J 4/02
, C09J 201/00
, C09J 163/00
, C09J 11/06
FI (7件):
C09J7/02 Z
, H01L21/78 M
, H01L23/30 D
, C09J4/02
, C09J201/00
, C09J163/00
, C09J11/06
Fターム (39件):
4J004AA01
, 4J004AA02
, 4J004AA05
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA13
, 4J004AA14
, 4J004AA15
, 4J004AA18
, 4J004AB07
, 4J004CC02
, 4J004DB02
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 4J040CA001
, 4J040CA002
, 4J040DF001
, 4J040DF002
, 4J040EC001
, 4J040ED001
, 4J040ED002
, 4J040EF001
, 4J040EF002
, 4J040EK001
, 4J040EK002
, 4J040FA171
, 4J040FA172
, 4J040JA09
, 4J040JB08
, 4J040KA13
, 4J040KA42
, 4J040MA02
, 4J040MA04
, 4J040MB05
, 4J040NA20
, 4M109AA01
, 4M109CA10
, 4M109EA15
, 4M109ED02
引用特許:
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