特許
J-GLOBAL ID：201003003936232022

真空ポンプ

発明者：
ロナルド・ザックス

ロナルド・ザックス について

, 
アレクサンドル・シリノフ

アレクサンドル・シリノフ について


出願人/特許権者：
プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  社本 一夫 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-109856
公開番号（公開出願番号）：特開2010-265894
出願日： 2010年05月12日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：
【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する真空ポンプを提供する【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部を設けた回転運動させられる羽根車を含み、前記羽根車は第1の部分羽根621および第2の部分羽根622を設けた羽根602を有し、前記羽根は羽根車の外周部に配置されている。改善された真空特性値および同時に簡単に製造可能なポンプ能動部品の形状を達成させるために、少なくとも1つの部分羽根621、622と羽根の運動方向607との間の角度615が90°より小さい値であることが提案される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ガス入口(2)、ガス出口(3)およびサイド・チャネル・ポンプ段(6)を備えた真空ポンプ(1)であって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部を設けた回転運動させられる羽根車(600)を含み、前記羽根車は第1の部分羽根(621;651)および第2の部分羽根(622;652)を設けた羽根(602;602′)を有し、前記羽根は羽根車の外周部に配置されている、真空ポンプにおいて、 少なくとも1つの部分羽根(621、622;651、652)と羽根の運動方向(607)との間の角度(615;615′)が90°より小さい値であることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (2件)：
F04D 19/04 ,  F04D 23/00
FI (2件)：
F04D19/04 D ,  F04D23/00 D
Fターム (22件)：
3H130AA12 ,  3H130AB28 ,  3H130AB53 ,  3H130AB55 ,  3H130AB63 ,  3H130AB65 ,  3H130AB68 ,  3H130AB69 ,  3H130AC30 ,  3H130BA66C ,  3H130CB01 ,  3H130DA02Z ,  3H130DB08Z ,  3H130DD01Z ,  3H130EA06C ,  3H130EA07C ,  3H130EB00C ,  3H130EB04C ,  3H130EB05C ,  3H131AA05 ,  3H131AA07 ,  3H131CA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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