特許
J-GLOBAL ID：201003004676486277

ガス吸着フィルタおよびガス吸着フィルタの製造方法

発明者：
島戸 孝明

島戸 孝明 について

, 
辻 由浩

辻 由浩 について


出願人/特許権者：
パナソニック株式会社

パナソニック株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-078432
公開番号（公開出願番号）：特開2010-227831
出願日： 2009年03月27日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】半導体製造装置内などで使用されるガス吸着フィルタにおいて、圧力損失が小さくかつ使用寿命の長いフィルタを提供し、また、構造体強度が高いフィルタを簡単に製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】活性炭粒子1と粒子状熱可塑性樹脂接着剤3を混合し、さらに繊維材料としてポリエステル繊維4を枠9に入れて熱可塑性樹脂溶解温度で加熱して熱可塑性樹脂を溶解させる。加熱した材料に針12を刺して、貫通孔をあけ、針12を構造体から抜き取った後、枠9を外す。活性炭粒子同士、活性炭粒子とポリエステル繊維、ポリエステル繊維同士が熱可塑性樹脂接着剤によって接着され、高強度で開口を有し、また構造体のほとんどすべてが活性炭であるため、吸着容量が大きいガス吸着フィルタ15が得られる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
吸着剤と熱可塑性樹脂接着剤と繊維材料の混合物を、前記熱可塑性樹脂接着剤が溶融する温度以上に加熱し、加熱された前記吸着剤と熱可塑性樹脂接着剤と繊維材料の混合物に対し、林立した針を刺して貫通させ、その後前記針を抜くことで作成するガス吸着フィルタの製造方法。
IPC (2件)：
B01D 53/04 ,  B01D 53/02
FI (2件)：
B01D53/04 A ,  B01D53/02 Z
Fターム (7件)：
4D012BA01 ,  4D012BA02 ,  4D012BA03 ,  4D012CA10 ,  4D012CB03 ,  4D012CG01 ,  4D012CK10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ケミカルフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-052427   出願人：高砂熱学工業株式会社
  • ケミカルフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-369183   出願人：株式会社ダン・タクマ
審査官引用 (5件)
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