特許
J-GLOBAL ID：201003006108534103
アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-269969
公開番号（公開出願番号）：特開2010-097135
出願日： 2008年10月20日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：
【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ1は、基体2と、基体2上に固定された微細構造体3とを有する。微細構造体3に、相対向する第1の支持部4と、相対向する第2の支持部5と、V字状の弾性連結部6を介して第1の支持部4に回動自在に連結され基体2から浮く回動板7と、回動板7の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群11と、ばね部8を介して第2の支持部5に連結され基体2に固定された固定部9と、固定部9の端部に可動電極群11とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群10と、基体2・微細構造体3を位置決めする位置決め部14とを備える。固定電極群10を含む固定部9は、第2の支持部5よりも肉薄で、自重とばね部8の変形とにより可動電極群11を含む回動板7よりも下方に変位して基体2に固定され、可動電極群11は固定電極群10よりも上方にずれて位置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、
前記基体の上面に固定され相対向する第1の支持部と、
前記基体の上面に固定され相対向する第2の支持部と、
前記第1の支持部から各々伸びるとともに前記基体の上面から浮いている弾性連結部と、
前記弾性連結部を介して前記第1の支持部の各々につながるとともに前記基体の上面から浮いている回動板と、
前記回動板において前記第2の支持部と対向する側に設けられた櫛歯状の可動電極群と、
前記第2の支持部の各々から前記回動板に向かって伸びるとともに少なくとも前記第2の支持部の側において前記基体の上面から浮いている変形可能部と、
前記変形可能部を介して前記第2の支持部の各々につながるとともに前記基体の上面に固定されている固定部と、
前記可動電極群に対して所定の距離を隔ててかみ合わされるようにして前記固定部に設けられた櫛歯状の固定電極群とを備えるとともに、
前記可動電極群は前記固定電極群に対して所定の距離だけ上方に位置しており、
前記固定部は該固定部の自重によって下降して前記基体の上面に接触して固定されており、
前記固定部と前記第2の支持部とをつなぐ前記変形可能部は変形しており、
かみ合っている前記可動電極群と前記固定電極群とに対して異なる極性の電圧を印加することによって前記可動電極群と前記固定電極群との間に引力を発生させ、該引力によって前記弾性連結部を回動軸として前記回動板が回動することを特徴とするアクチュエータ。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H02N 1/00
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
, H02N1/00
2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC07
, 2H141MD12
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MF05
, 2H141MF21
, 2H141MF24
, 2H141MZ19
, 2H141MZ23
, 2H141MZ25
, 3C081BA02
, 3C081BA07
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA53
, 3C081CA02
, 3C081CA05
, 3C081CA14
, 3C081CA19
, 3C081CA32
, 3C081DA02
, 3C081DA06
, 3C081DA10
, 3C081EA08
