特許
J-GLOBAL ID:201003006292504815

弾性表面波センサ及びそれを備えた被測定物特性測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 有我 軍一郎 ,  有我 栄一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-022687
公開番号(公開出願番号):特開2010-181178
出願日: 2009年02月03日
公開日(公表日): 2010年08月19日
要約:
【課題】直達応答波信号の影響を回避して測定精度の向上を図ることができる弾性表面波センサ及びそれを備えた被測定物特性測定装置を提供すること。【解決手段】溶液特性測定装置100は、弾性表面波を利用したSAWセンサ10及びリファレンスセンサ20、信号発振源101、アンプ102、スイッチ103、スイッチオンオフ回路104、ログ/リミッタアンプ105及び108、コンデンサ106及び111、固定アッテネータ107、位相検出器109、加算器110、アンプ112、AM検波回路113、レベル変換回路114、サンプルホールド回路115及び116を備え、SAWセンサ10は、直達波信号成分と主応答波信号成分との間の時間間隔よりも短い時間幅のバースト信号を入力して主応答波信号成分と直達波信号成分とを分離する構成を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電気信号を入力して弾性表面波を生成する入力側櫛型電極指と、前記弾性表面波を受信して電気信号に変換する出力側櫛型電極指と、前記入力側櫛型電極指と前記出力側櫛型電極指との間に被測定物が配置される被測定物配置領域とを備え、前記入力側櫛型電極指が単発パルス信号を入力した場合に、前記出力側櫛型電極指が、前記入力側櫛型電極と前記出力側櫛型電極との間の電磁結合により発生する直達波信号成分と、前記被測定物に応じて伝搬特性が変化した弾性表面波に基づく電気信号成分を示す主応答波信号成分とを出力する弾性表面波センサにおいて、 前記入力側櫛型電極指は、前記直達波信号成分と前記主応答波信号成分との間の時間間隔よりも短い時間幅のバースト信号を入力するものであることを特徴とする弾性表面波センサ。
IPC (3件):
G01N 29/02 ,  G01N 29/00 ,  H03H 9/25
FI (4件):
G01N29/02 ,  G01N29/18 ,  G01N29/20 ,  H03H9/25 Z
Fターム (23件):
2G047AA01 ,  2G047BA01 ,  2G047BC02 ,  2G047BC03 ,  2G047BC15 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047EA10 ,  2G047GB32 ,  2G047GF08 ,  2G047GF09 ,  2G047GG08 ,  2G047GG15 ,  2G047GG28 ,  2G047GG29 ,  5J097BB03 ,  5J097EE05 ,  5J097HB08 ,  5J097HB09 ,  5J097KK01 ,  5J097KK08 ,  5J097LL01 ,  5J097LL04
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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